euv光刻用薄膜的电阻率和发射率研究

汉阳大学和德克萨斯大学达拉斯分校的新技术。

“薄膜是一种薄膜结构，可保护极紫外 (euv) 掩模在---过程中免受污染。然而，由于极紫外光子的吸收，其有限的透射率会引起不---的加热。euv薄膜的可以通过提高其热稳定性来避免，这是通过提高薄膜的发射率来实现的。然而，薄膜的发射率数据在文献中并不容易获得，其值对厚度非常敏感。因此，我们研究了发射率对结构参数的依赖性，例如厚度、表面粗糙度和晶粒尺寸。我们使用理论和实验方法发现了电阻率和发射率之间的相关性。通过改变ru薄膜的晶粒尺寸，使用 lorentz-drude 模型对电阻率和发射率之间的关系进行了实验验证和确认。后，我们提出了一种开发具有---热稳定性的 euv 薄膜的方法，该薄膜可以承受高功率 euv 光源。”

光刻机制造商asml预计涨价幅度在10%-15%

位于荷兰的半导体设备供应商 asml 公布了第二季度业绩，显示供应链挑战、通货膨胀和地缘---不确定性的不利因素，并暗示其机器价格可能会上涨。?

asml 拥有 95% 的 duv 设备市场份额，而还没有任何本土替代品。但是，还有其他竞争---，如尼康和佳能可以向提供深紫外设备。因此，文宁克的---主要是说，美国提出---asml继续向销售duv，将让其竞争---在市场获得的份额。

wennink 看到（汽车领域）半导体含量翻了两番或五倍，工业领域、计算和汽车领域的需求依然---。他证实了“短期情况喜忧参半”，因为经济放缓，---是在个人电脑和智能手机领域，并且在不同的半导体节点中，库存上升到 covid 之前的水平是相当广泛的。据此初步判断，asml涨价幅度预计在10-15%。

华虹半导体产线保持满载运营

2022年第二季度华虹半导体营收达到创纪录的6.21亿美元，同比增加79.4%，环比增加4.4%；归母净利润为8390万美元，同比增长90.4%。

从晶圆尺寸来看，华虹半导体主打的8英寸晶圆和12英寸销售收入分别达到3.54亿美元和2.67亿美元，同比上升35.1%和217.1%。

分工艺节点看，55nm及65nm的二季度收入为1.14亿美元，同比增长274%，主要得益于norflash、cis及逻辑产品的需求增加；90nm及95nm的收入1.15亿美元，同比增长132.9%，主要得益于其他电源管理、智能卡芯片及mcu的需求增加。

从地区上来看，受益于各技术平台产品需求增加，其中华虹半导体二季度来自的收入为4.50亿美元，同比增长76.5%；来自美国的收入7321.3万美元，同比增长147.9%，增幅大，主要得益于其他电源管理、及mcu产品的需求增加。

分终端市场看，工业及汽车市场收入1.26亿美元，同比增长90.2%，增速快，主要得益于mcu、igbt及智能卡芯片的需求增加；而电子消费品在二季度成为华虹半导体大收入来源，达4.05亿美元，同比增长83.5%，收入占比为65.2%。