euv光刻用薄膜的电阻率和发射率研究

汉阳大学和德克萨斯大学达拉斯分校的新技术。

“薄膜是一种薄膜结构，可保护极紫外 (euv) 掩模在---过程中免受污染。然而，由于极紫外光子的吸收，其有限的透射率会引起不---的加热。euv薄膜的可以通过提高其热稳定性来避免，这是通过提高薄膜的发射率来实现的。然而，薄膜的发射率数据在文献中并不容易获得，其值对厚度非常敏感。因此，我们研究了发射率对结构参数的依赖性，例如厚度、表面粗糙度和晶粒尺寸。我们使用理论和实验方法发现了电阻率和发射率之间的相关性。通过改变ru薄膜的晶粒尺寸，使用 lorentz-drude 模型对电阻率和发射率之间的关系进行了实验验证和确认。后，我们提出了一种开发具有---热稳定性的 euv 薄膜的方法，该薄膜可以承受高功率 euv 光源。”

市场动能持续减弱，未来dram跌价空间或将持续扩大

本周dram市场动能持续减弱，各模组厂仍因库存水位甚高，向原厂申请---交货，对于现货购货意愿不断下降，更带给---商高成本压货负担，为求换现，除了主动调降报价外，亦看准下半年前景低迷，针对实际买盘承接度增加，造成---现象，预估未来跌价空间将持续扩大。

ddr4 1gx8 2666/3200部分，sk hynix djr-xnc报价维持在usd3.0x；samsung wc-bcwe价格下修幅度---20%，来到usd2.70，wc-bctd现货报价也同样下跌来到usd2.70左右，sk hynix cjr-vkc报价落在usd3.2x~3.3x。

ddr4 512x8 2400部分，samsung we-bcrc价格跌落至usd1.75，wf-bctd价格为usd1.8x左右。

ddr4 512x16 2666部分，sk hynix cjr-vkc报价为usd3.3x。

ddr4 256x16部分，samsung we-bcrc价格在usd1.8x，wf-bctd报价落在usd1.54附近。

厦门迎2个---“芯”平台

据厦门------，近日，福建省集成电路产教融合---发展联盟正式成立。该联盟由厦门大学发起，已发动福建省10余家高校、50余家企业、10余家研究机构及行业协会，共约100家单位组成。联盟届理事长由厦门大学委张荣担任。

该联盟致力于解决福建省集成电路产业人才供给与需求错位、产教脱节问题；充分发挥联盟成员在产教协同育人、技术研发与应用等方面的优势，推动基础技术---和产业相关环节协同发展；切实加强集成电路产业人才的有效供给，为促进福建省集成电路产业的高发展贡献力量

光刻机制造商asml预计涨价幅度在10%-15%

位于荷兰的半导体设备供应商 asml 公布了第二季度业绩，显示供应链挑战、通货膨胀和地缘---不确定性的不利因素，并暗示其机器价格可能会上涨。?

asml 拥有 95% 的 duv 设备市场份额，而还没有任何本土替代品。但是，还有其他竞争---，如尼康和佳能可以向提供深紫外设备。因此，文宁克的---主要是说，美国提出---asml继续向销售duv，将让其竞争---在市场获得的份额。

wennink 看到（汽车领域）半导体含量翻了两番或五倍，工业领域、计算和汽车领域的需求依然---。他证实了“短期情况喜忧参半”，因为经济放缓，---是在个人电脑和智能手机领域，并且在不同的半导体节点中，库存上升到 covid 之前的水平是相当广泛的。据此初步判断，asml涨价幅度预计在10-15%。